Perovskite Solar Cell R&D

• Cluster-typed Tandem Vacuum System

[Specification]
• Perovskite 태양전지 대면적 셀 연구개발용
• CTL (Charge Transport Layer ) 증착용 챔버
• ALD (Atomic Layer Deposition) 챔버
• TCO (Transparent Conductive Oxide) 증착용 챔버
• 전공정 자동화 (Transfer Robot )
• M6 사이즈 Wet Process용 Glovebox Integration(Slot Die 및 Spin Coater 포함)
• Thickness Uniformity 및 Repeatability 신뢰성 확보